Estudo da estabilidade térmica do Fotoresist Az-1350 irradiado com íons

dc.contributor.author	Franzen, Paulo Licenio	pt_BR
dc.contributor.author	Garcia, Irene Teresinha Santos	pt_BR
dc.contributor.author	Zawislak, Fernando Claudio	pt_BR
dc.date.accessioned	2014-06-06T02:06:09Z	pt_BR
dc.date.issued	1997	pt_BR
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/10183/96075	pt_BR
dc.format.mimetype	application/pdf	pt_BR
dc.language.iso	por	pt_BR
dc.relation.ispartof	Salão de Iniciação Científica (9. : 1997 : Porto Alegre). Livro de resumos. Porto Alegre : UFRGS, 1997.	pt_BR
dc.rights	Open Access	en
dc.subject	Física da matéria condensada	pt_BR
dc.subject	Implantação de íons	pt_BR
dc.subject	Retroespalhamento rutherford	pt_BR
dc.subject	Estabilidade termica : Fotoresist az-1350	pt_BR
dc.title	Estudo da estabilidade térmica do Fotoresist Az-1350 irradiado com íons	pt_BR
dc.type	Resumo publicado em evento	pt_BR
dc.contributor.event	Salão de Iniciação Científica (9. : 1997 set. 15-19 : UFRGS, Porto Alegre, RS).	pt_BR
dc.identifier.nrb	000154255	pt_BR
dc.subject.session	Física Experimental	pt_BR
dc.subject.cnpq	Ciências exatas e da terra	pt_BR
dc.description.number	062	pt_BR
dc.type.origin	Nacional	pt_BR

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