Navegação Microeletrônica por Assunto "Carbeto de silício"
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Efeitos da interação de vapor d’água, de nitrogênio e de hidrogênio com estruturas dielétrico/SiC
(2013) [Tese]No presente trabalho, foram investigados os efeitos de tratamentos térmicos em vapor d’água, em óxido nítrico e em hidrogênio nas propriedades físico-químicas e elétricas de filmes dielétricos crescidos termicamente e/ou ... -
Filmes de SiO2 depositados e crescidos termicamente sobre SiC : caracterização físico-química e elétrica
(2013) [Dissertação]O carbeto de silício (SiC) é um semicondutor com propriedades adequadas para substituir o silício em dispositivos eletrônicos em aplicações que exijam alta potência, alta freqüência e/ou temperatura. Além disso, um filme ... -
Investigação de defeitos e de métodos passivadores da região interfacial SiO2/SiC
(2017) [Tese]O carbeto de silício (SiC) é um semicondutor com propriedades adequadas para substituir o silício em dispositivos eletrônicos em aplicações que exijam alta potência, alta frequência e/ou alta temperatura. Além disso, é ... -
Propriedades físico-químicas e características elétricas de estruturas dielétrico/SiC
(2008) [Tese]Na presente Tese, foi investigado o efeito de tratamentos térmicos reativos nas propriedades físico-químicas e, em alguns casos, nas propriedades elétricas de filmes de SiO2 crescidos termicamente sobre carbeto de silício. ...
