Evidence of C migration in the SiO2 to the SiO2/Si interface of C-implanted structures

dc.contributor.author	Maltez, Rogério Luis	pt_BR
dc.date.accessioned	2025-08-05T08:02:51Z	pt_BR
dc.date.issued	2023	pt_BR
dc.identifier.uri	http://hdl.handle.net/10183/294602	pt_BR
dc.format.mimetype	application/pdf	pt_BR
dc.language.iso	eng	pt_BR
dc.rights	Open Access	en
dc.subject	Implantacao ionica	pt_BR
dc.subject	Carbeto de silício	pt_BR
dc.subject	Microscopia eletrônica de transmissão	pt_BR
dc.title	Evidence of C migration in the SiO2 to the SiO2/Si interface of C-implanted structures	pt_BR
dc.type	Relatório técnico e de pesquisa	pt_BR
dc.identifier.nrb	001289868	pt_BR

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